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壓電陶瓷偏轉臺,高負載通孔型,zTxTy方向

簡要描述:Carrier.Sxxx.ZTxTy.C,壓電陶瓷偏轉臺,高負載通孔型,zTxTy方向;針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決方案;?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級。

  • 產品型號:Carrier.Sxxx.ZTxTy.C
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-06-18
  • 訪  問  量:805

詳細介紹

大負載通孔·掃描運動 Carrier.S100/200.zTxTy.C

? 針對Z 方向掃描運動,兩軸搖擺調節(jié),保證真正準直

三維度Z, θxy掃描運動;

 Z方向 100/200 um 行程,1/2 mrad & 1/2 mrad;

閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm

最大負載 5 kg;

針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決方案;

?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級


壓電陶瓷偏轉臺,高負載通孔型,zTxTy方向——詳細參數:



壓電陶瓷偏轉臺,高負載通孔型,zTxTy方向——尺寸圖

壓電陶瓷偏轉臺,高負載通孔型,zTxTy方向


多場科技“壓電掃描臺·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列(標準型)和Carrier.SL 系列(輕量型)。Carrier.S & SL系列主要針對精密光學,半導體表征等應用場景,覆蓋載物臺“大行程·高精度·重負載"等需求,核心特點包括:

運動方式覆蓋線性運動 & 俯仰運動

X,Z,XY,XYZ & ZTT等運動形式全面支持

線性運動行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達到0.2 nm

超快運動響應 & 長時間疲勞測試

• 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級




 

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